ທັງສອງເຄື່ອງດູດນ້ໍາດູດຊືມແລະເຄື່ອງອັດແມ່ນອຸປະກອນສໍາລັບການປຸງແຕ່ງອາຍແກັສ, ແຕ່ວ່າຫຼັກການທີ່ເຮັດວຽກແລະຂອບເຂດຂອງການສະຫມັກແມ່ນແຕກຕ່າງກັນ.
ການເຮັດວຽກຕົ້ນຕໍຂອງເຄື່ອງດູດນ້ໍາດູດແມ່ນເອົາອາຍແກັສອອກຈາກຫ້ອງປະກອບທີ່ໃຊ້ໃນການຫຼຸດຜ່ອນຄວາມກົດດັນໃນຖັງເພື່ອບັນລຸລະດັບສູນຍາກາດທີ່ກໍານົດໄວ້ກ່ອນ. ອາຍແກັສແມ່ນຖືກສະກັດຈາກພື້ນທີ່ໂດຍຜ່ານການດູດແລະກົນໄກທີ່ສະຫາຍແລະປະກອບເປັນລັດສູນຍາກາດ. ເຄື່ອງດູດນົມດູດແມ່ນໃຊ້ໃນຫ້ອງທົດລອງ, ຫ້ອງທົດລອງ, ການຜະລິດແລະການຜະລິດ. ໃນ wafer fabs, ອຸປະກອນການລະເບີດ, ອຸປະກອນການຝາກເງິນ, ອຸປະກອນການປະສົມ, ion impramography, ເຄື່ອງສໍາອາງ, ແລະອື່ນໆຈໍາເປັນຕ້ອງໄດ້ຮັບການສ້ອມແປງ.
ຫນ້າທີ່ຂອງເຄື່ອງອັດແມ່ນການດູດແກັດແລະບີບອັດ, ເພີ່ມຄວາມກົດດັນຂອງອາຍແກັສ, ບີບກ່ວາປະລິມານທີ່ນ້ອຍລົງ, ແລະຄວາມກົດດັນຂອງອາຍແກັສແລະຄວາມກົດດັນຂອງອາຍແກັສ. ຫຼັກການໃນການເຮັດວຽກຂອງມັນແມ່ນການບີບອັດອາຍແກັສໂດຍຜ່ານປ່ຽງທີ່ໃຊ້ໄດ້, ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນໃສ່ກ gas າຊທີ່ບີບອັດເຂົ້າໄປໃນຖັງອາຍແກັສຫລືອຸປະກອນອື່ນໆ. ເຄື່ອງອັດຕາມປົກກະຕິແລ້ວແມ່ນໃຊ້ໃນການປຸງແຕ່ງແລະການຜະລິດ. The CDA GASH ພວກເຮົາມັກຈະເວົ້າກ່ຽວກັບການເຮັດໂດຍເຄື່ອງອັດ. CDA ແມ່ນໃຊ້ເພື່ອຄວບຄຸມອຸປະກອນແລະຄຸນລັກສະນະຕ່າງໆ. ສໍາລັບການຜະລິດ semiconductor, CDA ຕ້ອງມີຄວາມບໍລິສຸດແລະແຫ້ງ. ຜົນຜະລິດທາງອາກາດໂດຍເຄື່ອງອັດທີ່ຕ້ອງໄດ້ຜ່ານລະບົບການກັ່ນຕອງທີ່ມີຄວາມຊັບຊ້ອນເພື່ອກໍາຈັດນ້ໍາມັນ, ຄວາມຊຸ່ມແລະອະນຸພາກອື່ນໆເພື່ອຮັບປະກັນວ່າບໍ່ມີການປົນເປື້ອນຂອງ wafer.
ປະເພດໃດແດ່ຂອງເຄື່ອງດູດນ້ໍາດູດຊືມແລະເຄື່ອງອັດ?
ໃນອຸປະກອນ semiconductor, ປັ dry ມອົບແລະຈັກສູບນ້ໍາໂມເລກຸນແມ່ນຖືກນໍາໃຊ້ທົ່ວໄປ. ເຄື່ອງອົບແຫ້ງຫມາຍເຖິງເຄື່ອງດູດນ້ໍາທີ່ບໍ່ໄດ້ໃຊ້ແຫຼວທີ່ບໍ່ໄດ້ໃຊ້ແຫຼວໃດໆເປັນການຜະນຶກຫຼືຄວາມເຢັນເຊິ່ງກາງ, ຫລີກລ້ຽງບັນຫາຂອງອາຍນ້ໍາມັນ. ໂດຍທົ່ວໄປແລ້ວມັນຖືກນໍາໃຊ້ສໍາລັບການຂຸດຄົ້ນອຸປະກອນປ້ອງກັນທີ່ຫຍາບຄາຍ. ຈັກສູບນ້ໍາໂມເລກຸນສາມາດບັນລຸລະດັບສູນຍາກາດສູງທີ່ສຸດ. ຈັກສູບນ້ໍາແຫ້ງແລະຈັກສູບນ້ໍາໂມເລກຸນມັກຈະຖືກນໍາໃຊ້ໃນການປະສົມປະສານໃນອຸປະກອນ semiconductor ເພື່ອຕອບສະຫນອງຄວາມຕ້ອງການຂອງລະດັບສູນຍາກາດທີ່ແຕກຕ່າງກັນ.
ເຄື່ອງອັດສາມາດແບ່ງອອກເປັນ piston, screw, centrifugal, acdy vane accressers ທາງອາກາດ, ແລະອື່ນໆ.
ເນື່ອງຈາກການອອກແບບທີ່ແຕກຕ່າງກັນແລະຫຼັກການທີ່ແຕກຕ່າງກັນຂອງເຄື່ອງດູດນ້ໍາແລະເຄື່ອງຈັກ, ເຄື່ອງດູດນ້ໍາມັນບໍ່ສາມາດທົດແທນເຄື່ອງອັດໄດ້. ເຖິງແມ່ນວ່າປັພສມັດູດສາມາດຫຼຸດຜ່ອນຄວາມກົດດັນແລະຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງທາດອາຍຜິດ, ແຕ່ພວກມັນບໍ່ສາມາດບີບອັດໄດ້ຈາກຄວາມກົດດັນໃຫ້ເປັນປະລິມານທີ່ນ້ອຍກວ່າແລະເຖິງແມ່ນວ່າເຖິງແມ່ນວ່າມີຄວາມກົດດັນທີ່ສູງກວ່າແລະຄວາມກົດດັນທີ່ນ້ອຍກວ່າ. ນອກຈາກນັ້ນ, ເນື່ອງຈາກການປະຕິບັດທີ່ຈໍາກັດແລະຄຸນລັກສະນະທີ່ເຮັດວຽກຂອງເຄື່ອງດູດນ້ໍາ, ພວກມັນເຫມາະສົມທີ່ສຸດໃນການຈັດການກັບຄວາມຫນາແຫນ້ນແລະສະພາບແວດລ້ອມທີ່ມີຄວາມເຂັ້ມແຂງ.
ເພາະສະນັ້ນ, ຖ້າອາຍແກັສຕ້ອງການທີ່ຈະຖືກບີບອັດເປັນປະລິມານທີ່ນ້ອຍກວ່າແລະຄວາມກົດດັນສູງ, ເຄື່ອງອັດທີ່ຄວນໃຊ້. ໃນທາງກົງກັນຂ້າມ, ຖ້າອາຍແກັສຕ້ອງໄດ້ຮັບການສະກັດແລະສະຖານະການສູນຍາກາດຖືກສ້າງຕັ້ງຂຶ້ນ, ເຄື່ອງດູດນ້ໍາຄວນໃຊ້.
ເຖິງແມ່ນວ່າທັງສອງເຄື່ອງດູດນ້ໍາດູດຊືມແລະເຄື່ອງອັດແມ່ນອຸປະກອນທີ່ໃຊ້ໃນການປຸງແຕ່ງແກັດ, ມີຄວາມແຕກຕ່າງທີ່ດີໃນການອອກແບບແລະຫລັກການເຮັດວຽກ. ເຖິງແມ່ນວ່າປັສມດູດສາມາດຫຼຸດຜ່ອນຄວາມກົດດັນແລະຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງອາຍແກັສ, ມັນກໍ່ບໍ່ສາມາດທົດແທນເຄື່ອງອັດໄດ້, ໂດຍສະເພາະໃນເວລາທີ່ອາຍແກັສຕ້ອງໄດ້ຮັບການອັດລົງໃນປະລິມານທີ່ນ້ອຍກວ່າແລະຄວາມກົດດັນສູງ.
